至少曹阳是这么想的。

        ……

        “浸润法是通过改变光的折射来达到更短光波的目的对吧?”曹阳问到。

        “对。”张如京笑了笑,“这是个初中物理题,折射光的波长,等于入射光波长除以折射率,折射率越大,那么最后的折射波长就越短。

        现在浸润式光刻技术就是通过提升入射介质的折射率和折射角度来分离短波长,从而能够提升芯片的精细度。”

        想到这里,曹阳微微一笑,“那为什么不直接采用更短波长的光呢?”

        张如京摇了摇头,“不行的,因为之前IBM已经研究过了,X光波对于现在深紫外光来说波长更短,但是在这种情况下,水介质对于X光的折射效果很差,当光达到一定的波长之下,水对于它们来说就不是完全透明的了,就会产生遮挡和噪影,这是没有办法解决的事情。”

        “不是,我的意思是,不采用浸润光刻技术,而是干式光刻,但是将光波长缩短到两位数。”曹阳说。

        “哈?!”

        不只是张如京,在座的各位大佬们都是一副见了鬼的表情。

        倪光南、刘强这些本身就是做芯片出身的,华为任总虽然没有从事这方面的技术研发,不过也是略知一二,而且芯片对于整个高新领域来说,就相当于心脏,是不可或缺的东西,怎么着也会跟芯片打交道,没有做过也大概有所了解。

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