这……
要知道现在能够生产出193纳米的深紫外光就已经是极限了，深紫外光最多能提升到157nm。
如果采用浸润法，用纯净水作浸没液，其折射率为1.44，因此等效波长便从193nm降到了134nm（193nm1.14=134nm），分辨率也因此提高了，工艺节点可以向45-22nm迈进。
现在曹阳居然说使用两位数，也就是低于100纳米的波长光源，这简直就是天方夜谭。
所以张如京愣了一下，笑了起来，“如果真的有这种光源的话，我们能生产出个位数纳米级的芯片。”
那个时候，带来的芯片处理性能的提升可以说用飞跃来形容。
“是啊，现在国内连稳定的深紫外光都造不出来，去哪里弄那么短波长的光源啊？”倪教授也跟着说。
嗯……
现在不但中国没有，国外也没有，要到2012年ASML收购Cymer这家顶级光源公司之后，光波波长短到13.5nm的极紫外稳定光源才会出现。
这对于全世界来说都是一个难题，同时也就意味着机遇。
只不过现在曹阳有没有办法把握而已。
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